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发布时间:2022-03-26 05:13:00 作者:菱威纳米
Parylene的真空气相沉积工艺不仅和微电子集成电路制作工艺相似,而且所制备的Parylene涂层介电常数也低,还能用微电子加工工艺进行刻蚀制图,进行再金属化,因此Parylene不仅可用作防护材料,而且也能作为结构层中的介电材料和掩膜材料使用,经Parylene涂敷过的集成电路芯片,其25um细直径连接线,连接强度可提高5-10倍。
派瑞林涂层能耐酸碱和,对水汽和盐雾等恶劣环境有的阻隔能力,同时,派瑞林涂层很薄(几微米甚至可以做到几百纳米),对传感器的灵敏度影响很小,目前被各类传感器作为材料。
派瑞林(PARYLENE)用的真空气相沉积工艺制备,由活性小分子在基材外观"生长"出完全敷形的聚合物薄膜涂层,它能涂敷到各种外形的外观,包括尖锐的棱边,裂缝里和内外观。这种室温沉积制备的0.1-100微米薄膜涂层,厚度均匀、致密无、透明无应力、不含助剂、不损伤工件、有的电绝缘性和防护性,是现代较有用的防潮、防霉、防腐、防盐雾涂层材料。
派瑞林涂层除具备以上优异防护性外,还具有良好的生物兼容性、生物稳定性、润滑性、涂层均匀可控性,以及好的物理机械性能。多年来,派瑞林涂层材料广泛应用于航天航空、微电子、半导体、传感器、磁性材料、器械、保护等领域,更好的提升产品防护性能。
派瑞林(Parylene)真空镀膜技术在生物领域的应用,作为一种新型药用包装材料,派瑞林(Parylene)涂层具有高生物相容性,通常与人体整合良好。除生物相容性外,派瑞林(Parylene)涂层还具有生物稳定性、惰性、无毒,并且符合FDA的各种合规性,可增加长期使用期间的抗微生物保护。派瑞林涂层可以对植入式器械起到保形防护作用,将器械在使用期间泄漏侵入人体的可能性,避免患者的血液和内脏受到和刺激。
硅橡胶制品具有的耐热、耐寒和电绝缘性能,在汽车发动机系统、排气系统、燃料系统等方面已获得40项以上的应用。如火花塞罩,蓄电池接头,反射镜、固定玻璃、挡风玻璃、反光灯、排气管等处的密封、汽车大型密封垫等都是使用的硅橡胶制品材料。
关于Parylene涂层提供的保护能力的一项关键的测试是将电路板上测试对象进行涂敷,并且在一种温度——湿度循环下进行绝缘阻抗测试。即使对于非常薄的涂层(0.0001英寸),绝缘阻抗值也比规定的规格高出一个数量级。
派瑞林涂层采用气相沉积CVD的工艺,在电子产品表面沉积一层致密的防护膜,该膜层有较低的水汽透过率,可起到较好的阻隔水氧的作用。经派瑞林涂敷后的电子产品即便在有腐蚀性的环境中工作,也能够有效的阻隔,真正意义上完成对电子产品的防腐蚀效果。
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