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发布时间：2021-12-10 02:12:00 作者：菱威纳米
派瑞林涂层用于生物的表面（如骨钉、探针、导丝、起搏器、脑电极、植入式传感器等），以其较好的耐腐蚀、耐，、低阻滞性、低摩擦系数及生物相容性，将逐步取代TiNi（镍钛）合金涂层而被越来越多的用户选择。
派瑞林涂层用于硅片、芯片、半导体表面，能有效隔绝空气中的水氧，起到很好的封装作用。
派瑞林涂层用于和书籍画卷的表面，加固纸张的质地，在表面增加保护层，起到防蛀、防霉、的作用。
考夫曼离子源是应用较早的离子源。属于栅格式离子源。首先由阴极在离子源内腔产生等离子体，让后由两层或三层阳极栅格将离子从等离子腔体中抽取出来。这种离子源产生的离子方向性强，离子能量带宽集中，可广泛应用于真空镀膜中。缺点是阴极（往往是钨丝）在反应气体中很快就烧掉了，另外就是离子流量有极限，对需要大离子流量的用户可能不适和。
霍尔离子源是阳极在一个强轴向磁场的协作下将工艺气体等离子化。这个轴向磁场的强不平衡性将气体离子分离并形成离子束。由于轴向磁场的作用太强，霍尔离子源离子束需要补充电子以中和离子流。常见的中和源就是钨丝（阴极）。
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