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发布时间:2022-06-23 23:21:00 作者:菱威纳米
随着物联网、智慧、智能家居、无人驾驶等行业的迅猛发展,近年来纳米涂层、防水涂层、超疏水涂层,也成为热点搜索关键词。在此主要讨论下其中的两种涂层方式:派瑞林镀膜和等离子镀膜的相同和不同之处。
相同之处是两种镀膜方式都属于真空气相沉积,气相沉积工艺的特点是涂层均匀、入孔不入、厚度可控,备受精细的传感器、芯片、EMS等行业的青睐。不同之处在于两种涂层的防护效果、生产效率上存在差异,各有千秋。
Parylene的特性之一是它们可以形成极薄的膜层。ParyleneN薄膜和C薄膜的直流击穿电压被确定与高聚物厚度有一定的关系。图3画出了相关的曲线。对于5个微米(0.0002inch)以下的薄膜,这方面的性能ParyleneC要强于ParyleneN。这些数据表明,两种Parylene材料都具有很好的绝缘性能,即使厚度小于1个微米。随着厚度的减小,单位厚度的击穿电压一般将升高。
Parylene的真空气相沉积工艺不仅和微电子集成电路制作工艺相似,而且所制备的Parylene涂层介电常数也低,还能用微电子加工工艺进行刻蚀制图,进行再金属化,因此Parylene不仅可用作防护材料,而且也能作为结构层中的介电材料和掩膜材料使用,经Parylene涂敷过的集成电路芯片,其25um细直径连接线,连接强度可提高5-10倍。
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